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图A1 ESD分级试验电路(人体模型)
R1＝106~107Ω R2＝1500Ω±1％
C1＝100pF+10％ (绝缘电阻最小为1012Ω)
S1--高压继电器 (无抖动型，水银继电器或等效的继电器)
S2--普通闭合开关 (在脉冲放电和电容测量时断开)
GJB 1649—93
注：① 寄生效应对本模拟电路有强烈的影响。跨接继电器和电阻端的电容量及线路和各元件上的电感量应减至最小。
②为防止C1瞬时再充电，在S1接到充电位置时，将电源电压调小一些。
③在校准和试验期间，不允许变动DUT插座。
④不允许采用换接模拟器A、B端来获得相反的极性。
⑤C1代表了有效电容(见A3．3．2)。
⑥电流探针应用双线屏蔽电缆连接到示波器的50n输入端。电缆长度不能超过0．9m。
图A2 静电放电敏感度分级试验电流波形示意图(人体模型)
注：①电流波形应按A4．1规定的程序来测量，所用设备应符合A3．1的要求。
②电流脉冲波形应具有下列特征;
Tri (上升时间)：小于10ns
Tdi (衰减时间)：150土20ns
Ip (峰值电流)；表A1中所选电压等级对应的Ip土10％范围内。
Ir (振荡电流)：衰减应平滑，出现的抖动，双时间常数或不连续的值应小于Ip最大值的15％，且脉冲开始100ns后 不应观察到。
A3．2 测量仪器
仪器包括能检查模拟器输出脉冲波形是否符合图A2要求的示波器、放大器和电流探针等。
A3．2．1 示波器和放大器
示波器和放大器组合电路应有最小350MHz的带宽和最低0．25ns/cm的扫描时基。
A3．2．2 电流探针
电流探针应有最小350MHz的带宽。
A3．2．3 充电电压探针
充电电压探针应有最小1000MΩ的输入电阻和最大4％的分压比。
A3．3 校验
周期性的校验至少应包括下述内容。
A3．3．1 充电电压
显示模拟器充电电压的仪表应校准，以指示图Al中C、D两点间的实际电压，其值见表A1的规定。
GJB 1649—93
表A1 模拟器充电电压(Vs)等级与峰值电流(1p)的关系
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级 别 |
Vs／V |
Ip／A· |
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l |
500 |
0．33 |
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2 |
1000 |
0．67 |
|
3 |
2000 |
1．33 |
|
4 |
4000 |
2．67 |
注：Ip是在电流波形检验过程中流过R2的峰值电流，大约为Vs／1500Ω。
A3．3．2 有效电容量
把图A1中的Cl充电到特定电压(见表A1)，在试验插座无试验样品和试验开关断开的
情况下，把C1所充的电荷放电到图A1中A、B两点的静电计、库仑计或已校验的电容器来测量有效电容量。在规定的电压范围内，有效电容量应是100pF土10％，有效电容量应定期在l000V电压下进行校验(注意：需串联一个电阻来减慢放电过程和得到正确的测量结果>。必要时，可采用其他等效的方法。
A3．3．3 电流波形
对表Al中的每一级电压分别按A4．1所述过程测定电流波形，每一级电压的电流波形应满足图A2的要求。
A3．4 鉴定
对新仪器或经过大修的仪器应进行验收检验。检验应包括下述内容(但不仅限于此内容)。
A3．4．1 电流波形检验
以最靠近B端(见图A1)的管脚为参考点，检验每个管脚上的电流波形。所有波形均应满足图A2的要求。标记出显示最差波形(接近于临界极限)的管脚对，用于A4．1所要求的波形检查。
A4 程序
A4．1 静电放电模拟器电流波形的检验
为保证模拟器正常工作，进行ESD试验每次换班开始或每次改变试验插座／插板后的试验前均应进行电流波形检验。如果模拟器不满足所有的要求，则最后一次合格检验后所做的所有分类试验都必须重做。在装置的最初鉴定和重新鉴定时，应将按A4．1．3一A4．1．5的要求观察到的波形拍摄成照片，作为文件保存以供审查和比较(也可用贮存的数字化图象代替照片)。
A4．1．1 把没有试验样品的DUT插座安装到模拟器上，在DUT插座的两个管脚孔上跨接一段短接线，把其中一个管脚连接到模拟器的A端，另一个管脚连接到B端(见图A1)。
A4．1．2 把电流探针绕接到靠近B端的短接线下，将模拟器的充电电压源Vs设置到符合表A1中第4级的4000V。
A4．1．3 触发一个模拟器脉冲并观察电流波形的前沿，电流波形应满足图A2的上升时间、峰值电流和减幅振荡要求。
A4．1．4 再次触发模拟器脉冲，并观察整个电流波形，脉冲应满足图A2的衰减时间和GJB 减幅振荡要求。
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